序号

检测内容

化学式

检测范围

检测误差

最小示值

响应时间

0

磷化氢

PH3

(0-20-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤90s

1

氧气

O2

(0.0-25.0)%

≤±0.5%(F.S)

0.10%

≤20s

2

可燃性气体

Ex

(0-100)%LEL

≤±5%(F.S)

1%LEL

≤30s

3

一氧化碳

CO

(0-2000)×10^-6

≤±5%(F.S)

1×10^-6

≤60s

4

硫化氢

H2S

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

5

二氧化氮

NO2

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

6

一氧化氮

NO

(0-1000)×10^-6

≤±5%(F.S)

1×10^-6

≤60s

7

二氧化硫

SO2

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

8

氯气

Cl2

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

9

氨气

NH3

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤150s

10

氢气

H2

(0-2000)×10^-6

≤±5%(F.S)

1×10^-6

≤90s

11

氢氰酸

HCN

(0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤200s

12

臭氧

O3

(0-1.0-5.0)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.01×10^-6

≤120s

13

氟气

F2

(0-1)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.01×10^-6

≤60s

14

氟化氢

HF

(0-10)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

15

氯化氢

HCL

(0-30-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

16

溴化氢

HBr

(0-30)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

17

环氧乙烷

C2H4O

(0-100)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤120s

18

光气

COCl2

(0-1)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.01×10^-6

≤60s

19

硅烷

SiH4

(0-20)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

20

锗烷

GeH4

(0-2)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

21

砷烷

AsH3

(0-1)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.1×10^-6

≤60s

22

二氧化氯

ClO2

(0-1.0-200)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.01×10^-6

≤120s

23

四氢化氮

N2H4

(0-1)×10^-6

≤±5%(F.S)

0.01×10^-6

≤60s